Penelitian ini bertujuan manganalisis tentang: Internal locus of control, self-efficacy, self-esteem dan prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang. Dalam penelitian ini, analisis data menggunakan analisis kuantitatif deskriptif  untuk menganalisis internal locus of control, self-efficacy, self-esteem dan prokrastinasi akademik mahasiswa PAI. sedangkan untuk menganalisis pengaruh internal locus of control, self-efficacy, self-esteem terhadap prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang digunakan analisis regresi. Dari hasil analisis penelitian ini didapatkan beberapa temuan: pertama, ada pengaruh negatif yang tidak signifikan antara internal locus of control dengan prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang. Persamaan garis regresinya adalah Y`=73.138-0,720X, nilai sig 0,102<0,05. Besarnya pengaruh internal locus of control terhadap prokrastinasi akademik 0,328, dengan kontribusi sebesar 10,7%. Kedua, Ada pengaruh negatif yang signifikan self-efficacy terhadap prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang, dengan persamaan regresi Y`=75.179-0,552X, dan nilai sig 0,007<0,05. Besarnya pengaruh sebesar 0,328. dan kontribusinya sebesar 10,8%. Ketiga, ada pengaruh negatif yang signifikan self-esteem terhadap prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang dengan nilai sig 0,036<0,05, dan persamaan regresinya Y`=82,794-0,490X, dengan besar pengaruh 0,414, dengan kontribusi sebesar 17,1%. Keempat, ada pengaruh negatif dan signifikan antara internal locus of control, self-efficacy, self-esteem secara bersama-sama dengan prokrastinasi akademik mahasiswa PAI FITK UIN Walisongo Semarang, dengan persamaan regresi Y`=119,552-0,649X1-0,423X2-0,273X3 dan nilai sig 0,007<0,05. Pengaruhnya sebesar 0,641, dengan kontribusi sebesar 41%. Sisanya sebesar 59% ditentukan faktor lain.