Penelitian ini didasarkan pada permasalahan yang dihadapi oleh pihak universitas yang menunjukkan bahwa masih banyak mahasiswa yang tidak melakukan pendaftaran ulang pada semester I, II dan III yang menunjukkan ketidakloyalan mahasiswa pada Universitas Dian Nuswantoro Semarang, terutama pada Program Studi Ekonomi Syariah. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui: (a) pengaruh kualitas jasa terhadap kepercayaan, (b) pengaruh kualitas jasa terhadap kepuasan mahasiswa, (c) pengaruh kepercayaan terhadap kepuasan mahasiswa, (d) pengaruh kualitas jasa terhadap loyalitas, (e) pengaruh kepercayaan terhadap loyalitas, (f) pengaruh kepuasan mahasiswa terhadap loyalitas. Sampel penelitian ini adalah mahasiswa di Program Studi Ekonomi Syariah berjumlah 119 orang. Seluruh data yang diperoleh selanjutnya digunakan untuk analisis data. Teknik pengambilan sampel yang digunakan dalam penelitian ini adalah purposive sampling dan pemilihan responden dengan random sampling. Populasi yang dipilih berdasarkan kriteria adalah mahasiswa aktif pada Program Studi Ekonomi Syariah Universitas Dian Nuswantoro Semarang yang telah melakukan registrasi semester 1 hingga semester 3. Penelitian ini menggunakan analisis Structural Equation Modelling (SEM). Hasil penelitian menunjukkan bahwa pengaruh kualitas jasa terhadap kepercayaan menunjukkan nilai koefisien positif dengan nilai C.R=2.490 dengan probabilitas 0.013, pengaruh kualitas jasa terhadap kepuasan dengan nilai C.R=2.788 dengan probabilitas 0.005, pengaruh kepercayaan terhadap kepuasan dengan nilai C.R=5.015, pengaruh kualitas jasa terhadap loyalitas dengan nilai C.R=2.649 dengan probabilitas 0.008, sedangkan pengaruh kepercayaan terhadap loyalitas dengan nilai C.R=2.030 dan probablitas 0.042, dan pengaruh kepuasan terhadap loyalitas adalah 2.723 dengan probabilitas 0.006. Bahwa kualitas jasa perguruan tinggi berpengaruh positif terhadap loyalitas mahasiswa Program Studi Ekonomi Syariah Universitas Dian Nuswantoro Semarang.