Khusyuk dalam sholat merupakan pengalaman personal yang belum banyak dikaji. Banyak penelitian eksperimental menunjukkan pengaruh positif sholat bagi kesehatan, tetapi penelitian skala luas mendapatkanhasil sebaliknya di Indonesia. Penelitian ini bertujuan mengembangkan instrumen pengukuran khusyuk sholat dalam kaitan pengaruh positifnya bagi kesehatan yang berbahasa Indonesia penelitian ini terdiri dari 3 fase.Fase I: eksplorasi literatur dan studi kualitatif untuk mendapatkan konsep kunci dan operasionalisasi konsep kunci. Fase II: pengembangan dan penajaman item berdasarkan operasionalisasi konsep kunci. Fase III: studi pendahuluan dan analisis statistik. Hasil eksplorasi literatur dan studi kualitatif didapatkan 4 domain konsep utama dan 11 sub domain tentang khusyuk; 1) status khusyuk terdiri dari a) induksi perubahan kesadaran karena niat, b) Isolasi mental perubahan kesadaran diri, c) peragaan dialog mental dengan Allah, d) faktor pemampu khusyuk, e) pengendalian mind wandering; 2) prasyarat keyakinan dan God attachment terdiri dari a) keyakinan kuat bertemu Allah dan b) God attachment; 3) atmosfer spiritual terdiri dari a) kesiapan hati, kelonggaran waktu dan suasana tempat dan b) kondisi psikologis tertentu dan kematangan spiritual; 4) dampak khusyuk terdiri dari a) restrukturisasi kognitif peristiwa kehidupan dan b) perasaan segar, tenang dan rileks. Pengembangan item selanjutnya direview oleh pakar agama dan psikiatri untuk mendapatkan validitas isi. Setelah mengkoreksi item-item dengan korelasi item – total rendah, didapatkan 42 item dengan Cronbach's Alpha .945. Kata Kunci: Alat Ukur Khusyuk, Kesehatan