Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui prosedur pembuatan kuesioner online menggunakan Google Form sebagai media penilaian kinerja dosen dan respon mahasiswa terhadap penggunaannya. Penelitian ini menggunakan metode deskriptif analitis dengan teknik pengumpulan data berupa angket dan studi dokumentasi. Subyek penelitian ini adalah mahasiswa program studi Pendidikan Guru Madrasah Ibtidaiyah. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa bahwa prosedur pengembangan kuesioner penilaian kinerja dosen pada proses pembelajaran menggunakan Google Form dimulai dari tahap merencanakan, membuat, mempublikasikan dan memberikan petunjuk penggunaan. Data respon mahasiswa meunjukkan bahwa sebagian besar mahasiswa suka dengan penggunaan kuesioner online (53,3%), mudah diakses (86,7%), waktu menjadi lebih efesien (80%), menghemat penggunaan kertas (93,3%), mengerti cara menggunakannya (86,6%), tampilannya mudah dimengerti (86,6), Bahasa kuesioner telah sesuai (100%), materinya sudah sesuai (93,4%). Dengan demikian, Google Form sangat bermanfaat bagi dosen dan mahasiswa untuk mengumpulkan data kinerja dosen.