Pengukuran kedalaman spiriual digunakan untuk mengetahui tingkat kedalaman spiritual seseorang. Untuk mengukur kedalaman spiritual diperlukan patokan atau ukuran yang sesuai. Penelitian ini dilakukan di Universitas Islam Negeri Maulana Malik Ibrahim Malang. Kedalaman spiritual merupakan sesuatu yang kabur, oleh karena itu logika fuzzy dapat membantu untuk pengukuran kedalaman spiritual. Logika fuzzy yang digunakan dalam penelitian ini adalah Fuzzy Multi Atributte Desicion Making (FMADM) dengan metode TOPSIS. Dalam penelitian ini digunakan pula Structural Equation Modeling (SEM) untuk menguji hubungan antar variabel yang mempengaruhi kedalaman spiritual dosen, karyawan dan mahasiswa. Hasil perhitungan skor kedalaman spiritual menggunakan metode TOPSIS berupa skor yang berada pada selang interval antara 0 sampai 1. Metode TOPSIS ternyata dapat diterapkan untuk mengukur kedalaman spiritual dosen , karyawan, dan mahasiswa. Analisis hubungan antar variabel dengan SEM dari data dosen dan karyawan menunjukkan bahwa variabel Ibadah memiliki pengaruh yang lebih besar terhadap variabel kedalaman spiritual dibandingkan variabel perilaku. Kesimpulan yang sama juga diperoleh berdasarkan analisa pada data mahasiswa